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題名 | FPD設備鋁合金防著板與電極板之再生處理=Recycle Treatments of Aluminum Sputter Shield and Electrode in TFT-LCD FPD Manufacturing Processes |
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作 者 | 賴文貴; 馮克林; 翁榮洲; 許澤東; 莊三德; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 269 2009.05[民98.05] |
頁次 | 頁80-86 |
專輯 | 平面顯示器設備/耗材技術專題 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 防著板; 電極板; 再生處理; 硬質陽極氧化; Sputter shield; Electrode; Recycle treatment; Hard anodizing; |
語文 | 中文(Chinese) |