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題 名 | 飛秒雷射加工矽晶圓之特性研究=Properties Study of Femtosecond Laser Processing on Silicon Wafers |
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作 者 | 吳秉翰; 沈威志; 簡志維; 鄭中緯; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 311 2009.02[民98.02] |
頁 次 | 頁12-21 |
專 輯 | 雷射應用技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 飛秒雷射; 雷射鑽孔; 雷射切割; 雙溫模型; Femtosecond laser; Laser drilling; Laser cutting; Two-temperature model; |
語 文 | 中文(Chinese) |