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題名 | UPW之UF膜再利用於CMP/BG廢水回收之測試研究 |
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作者姓名(中文) | 郭靜宜; 李清屏; 王冬信; | 書刊名 | 化工技術 |
卷期 | 16:4=181 2008.04[民97.04] |
頁次 | 頁177-191 |
專輯 | 過濾設備專輯 |
分類號 | 445.46 |
關鍵詞 | 混凝沉澱; CMP; BG; UF; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing, CMP)與晶背研磨(Backside Grinding, BG)廢水處理回收技術,目前已知的研究發展技術包括:傳統之混凝沉澱方式、電過濾/電透析、電磁效應、薄膜過濾等方式,雖然早期大部分都以混凝沉澱為主,但近來利用薄膜的技術有逐漸成熟的發展。 而本廠研究利用小型試驗模組,包含前置濾心(pre-filter)、汰換下來之超過濾膜(Ultra-Filtration Membrane, UF),以不加藥之方式運轉處理CMP及BG廢水,擺脫傳統用加藥混凝沉澱方式處理這類型之廢水做法,其能對水資源再利用盡一分心力。 |
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