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題 名 | 高溫快速熱退火技術於AM-OLED TFT-Array之應用=Utilization High Temperature Rapid Thermal Annealing to Prepared Polycrystalline Silicon Membrane |
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作 者 | 洪木清; 陳智崇; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 254 2008.02[民97.02] |
頁 次 | 頁124-135 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 多晶矽; 薄膜電晶體; 快速熱退火; 固相結晶法; 主動式有機發光顯示器; Poly-silicon; p-Si; Thin film transistor; TFT; Rapid thermal annealing; RTA; Solid phase crystallization; SPC; Active matrix organic light emission display; AM-OLED; |
語 文 | 中文(Chinese) |