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題 名 | 使用尼曼A型分配於積體電路晶圓缺陷管制圖之經濟性設計=An Economic Design of the Neyman Type-A Based Control Chartsfor Clustered Defects in Ic Fabrication |
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作 者 | 唐麗英; 謝季亨; | 書刊名 | 工業工程學刊 |
卷 期 | 15:6 1998.11[民87.11] |
頁 次 | 頁615-622 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 積體電路; 缺陷; 群聚; 波瓦松分配; 尼曼A型分配; 缺點數管制圖; 管制圖之經濟性設計; Integrated circuit; Cluster; Neyman type-A distribution; C-chart; Economic design of control charts; Poisson distribution; Defect; |
語 文 | 中文(Chinese) |