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來源資料
零組件雜誌
186 2007.04[民96.04]
頁112-120
電機工程
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電燈廠
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題 名
微水刀雷射晶圓切割技術探微--以不同距離、進刀速度和傾斜角度切割金屬薄板之研究
作 者
Porter, Jyria
;
Louhisalmi, Yrjö
;
Karjalainen, Jussi
;
書刊名
零組件雜誌
卷 期
186 2007.04[民96.04]
頁 次
頁112-120
分類號
448.57
關鍵詞
微水刀雷射
;
晶圓切割
;
雷射切割
;
語 文
中文(Chinese)
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