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題 名 | 光電半導體製程超細微粒去除裝置開發 |
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作 者 | 徐玉杜; 簡弘民; | 書刊名 | 化工技術 |
卷 期 | 15:10=175 2007.10[民96.10] |
頁 次 | 頁182-194 |
專 輯 | 創新技術.生物科技 |
分類號 | 445.63 |
關鍵詞 | 超細微粒; 奈米微粒; 旋風器; 半導體製程; 廢氣處理; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 半導體或光電製程的製程機臺容易排放有害氣體及微粒(如SiO₂、含砷微粒),但是目前僅重視有害氣體的處理,次微米微粒的排放並未妥善處理。本研究針對含有次微米微粒之製程尾氣,或者經由水解、燃燒、熱氧化、電漿等方法而轉化成的液、固態微粒,設計出所需之奈米微粒旋風收集器。應用由工研院獲得之奈米微粒旋風收集器專利(中華民國專利:「使用旋風器收集奈米微粒的方法及設計該旋風器的方法」,專利證號:I220652;美國專利:「Method of collecting nanoparticles by using a cyclone and method of designing the cyclone」(Patent number: 6,969,420);中華民國專利:「含液或固體微粒製程尾氣之廢氣處理裝置」,專利證號:I244938),利用低壓環境中微粒阻力減小的原理,可以去除細微粒及超細微粒的旋風收集器,以解決細微粒排放的問題,並且應用於解決現有局部洗滌設備對於細及超細微粒收集效果不良的情形。根據我們所發展之理論模型,設計出本研究所需之核心元件-旋風器,其導翼內徑為1.5 cm,外徑為3 cm。測試用平臺主要單元包括:奈米微粒旋風器、震盪器、空壓機、收料器、袋式集塵器、閘刀閥、收料桶、鼓風機、控制盤、可移動式基座等。本研究採用微粒監測設備ELPI (Electrical Low Pressure Impactor),來監控與分析氣流中微粒粒徑分布情形,並計算獲得微粒收集效率。以NaCl 及TiO₂微粒為測試微粒,連續測試8小時,奈米微粒旋風收集器之微粒收集效率,都可達90%以上。裝置核心部分經測試與計算條件相符後,將進一步設計完整之去除裝置與系統,並將其整合在傳統局部洗滌設備大小之範圍內,此一光電半導體製程超細微粒去除裝置包括:氣固分離單元、微粒收集單元、儀電控制單元、週邊設備等。本裝置可依據不同廢氣特性以及光電半導體製程條件之需求,將適用之旋風收集器整合於一般處理氣狀污染物之局部洗滌設備。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。