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題 名 | 應用於太陽光電薄膜製程之大面積電漿源技術=A Large-Area Plasma Source for Solar Cell Thin-Film Processing |
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作 者 | 張志振; 董福慶; 黃振榮; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 290 2007.05[民96.05] |
頁 次 | 頁63-70 |
專 輯 | 太陽光電製程設備技術專輯 |
分類號 | 448.167 |
關鍵詞 | 太陽電池; 微波電漿; Solar cell; Microwave plasma; |
語 文 | 中文(Chinese) |