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題 名 | Extracting Specific Domain Terminologies to Establish CMP Ontology-based Knowledge System=擷取關鍵字技術應用於發展化學機械拋光製程本體知識庫 |
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作 者 | 陳炤彰; 許厲生; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 27:6 民95.12 |
頁 次 | 頁779-785 |
分類號 | 312.13 |
關鍵詞 | 關鍵字擷取; 本體知識庫系統; 資料探索; Ontology-based knowledge system; Chemical mechanical polishing; Specific domain terminologies; Data mining; |
語 文 | 英文(English) |