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題 名 | 微奈米壓印技術於AZO導電薄膜圖案製作之研究=A Novel Method to Fabricate 3-D Structure on Non-Flat Substrate |
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作 者 | 許朝翔; 林建銘; 賴冠良; 方冠榮; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 37:3 民94.09 |
頁 次 | 頁122-126 |
分類號 | 446.8924 |
關鍵詞 | 壓印; 氣體感測器; 溶膠凝膠; Nanoimprinting; Sol-gel process; Conducting oxide; |
語 文 | 中文(Chinese) |