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題名 | Precision Measurement and Decoupled Control of a Planar Motion Stage=面移動平臺之精密量測與解耦控制 |
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作 者 | Dian, Song Yi; Gao, Wei; Horie, Katsutoshi; Kiyono, Satoshi; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷期 | 27:5 民95.10 |
頁次 | 頁567-574 |
分類號 | 448.942 |
關鍵詞 | 面移動平臺; 精密量測; 解耦控制; Precision measurement; Decoupled control; Interference error; Planar motion stage; Laser interferometer; |
語文 | 英文(English) |