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題 名 | Integration of a Force Sensor into a Fast-tool-control Unit for Fabrication of Large Area Microlens Array=結合力量感測器的快速刀具控制系統於大面積微鏡子陣列之製造 |
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作 者 | Tano, M.; Gao, W.; Kimura, A.; Sanuki, T.; Noh, Y. J.; Kiyono, S.; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 27:5 民95.10 |
頁 次 | 頁555-560 |
分類號 | 446.893 |
關鍵詞 | 刀具控制; 微鑽石切割刀具; 力量感測器; 微鏡子陣列; Micro-lens array; Fast tool control; Force sensor; Diamond turning; |
語 文 | 英文(English) |