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題 名 | Ultra-precision On-machine Measurement System for Aspheric Optical Elements=超精密機上量測系統於非球面光學元件之研究 |
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作 者 | Nagaike, Y.; Nakamura, Y.; Ito, Y.; Gao, W.; Kuriyagawa, T.; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 27:5 民95.10 |
頁 次 | 頁535-540 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 精密量測; 微模具; 光學元件; On-machine measurement; Inclined self-weight method; Aspheric lens; Contact stylus; Instrumentation; Nanoshape; |
語 文 | 英文(English) |