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題 名 | 陰極電弧物理蒸鍍氮碳化鉻性質之研究 |
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作 者 | 吳政道; 陳惠如; 林天財; | 書刊名 | 金屬工業 |
卷 期 | 29:4 1995.07[民84.07] |
頁 次 | 頁50-53 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 氮碳化鉻薄膜; 陰極電孤物理蒸鍍; 耐磨耗性; 乙烷; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究以陰極電弧電漿物理蒸鍍製程,在SKH51高速鋼表面被覆氮碳化鉻薄膜,探討基板偏壓及反應氣體壓力對鍍層沈積速率、硬度、耐磨耗性及微結構之影響,實驗結果顯示沈積速率隨反應氣體總壓增加而增加,CrCN鍍層為排列緻密之微細晶結構,硬度介於Hv2800∼3500之間,由磨耗試驗顯示鍍層具有良好耐磨耗性。 |
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