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來源資料
南榮學報
復刊7 民92.11
頁47-54
相關文獻
TaN薄膜電阻元件之成長特性研究
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基本資料
引用格式
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題 名
TaN薄膜電阻元件之成長特性研究
作 者
林天財
;
宋國材
;
翁上珍
;
書刊名
南榮學報
卷 期
復刊7 民92.11
頁 次
頁47-54
分類號
448.533
關鍵詞
薄膜電阻元件
;
TaN
;
Thin film
;
Sputtering
;
語 文
中文(Chinese)
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