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題 名 | 電漿源與電漿表面改質技術簡介=Plasma Sources and Plasma Surface Modification Technologies |
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作 者 | 馬寧元; 李新中; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 235 民95.07 |
頁 次 | 頁172-180 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 表面改質; 電漿源; 電漿植入; 電漿濺射; 射頻輝光放電; 電子迴旋共振; 真空電弧; 電漿聚合; 電暈放電; Surface modifications; Plasma sources; Plasma implantation; Plasma sputtering; Radio frequency glow discharge; RF glow discharge; Electron cyclotron resonance; ECR; Vacuum arc; Plasma polymerization; Corona discharge; |
語 文 | 中文(Chinese) |