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來源資料
物理雙月刊
28:2 民95.04
頁440-451
電學;電子學
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電學;電子學
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匯出書目
題 名
電漿源原理與應用之介紹
作 者
張家豪
;
魏鴻文
;
翁政輝
;
柳克強
;
李安平
;
寇崇善
;
吳敏文
;
曾錦清
;
蔡文發
;
鄭國川
;
書刊名
物理雙月刊
卷 期
28:2 民95.04
頁 次
頁440-451
分類號
337
關鍵詞
電漿
;
電漿源
;
語 文
中文(Chinese)
中文摘要
電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程,成為現代科技的重要指標。本文將介紹國內在電漿源方面的研發,其中包括電感式電漿源,微波表面波電漿源,大氣電漿源,電漿浸沒離子佈植及電漿火炬等等。文中將簡介各式電漿源之基本物理及其應用發展。
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