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| 題 名 | Development of a Novel Heavy-Loading Flexure Hinge Based Stack-Type Five-Degree-of-Freedom Nanometer Positioning Stage=一種新型奈米級五自由度重負荷疊積式平臺之建構 |
|---|---|
| 作 者 | 覺文郁; 沈金鐘; 劉建宏; 鄧雲峰; 簡裕特; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
| 卷 期 | 25:6 民93.12 |
| 頁 次 | 頁465-474 |
| 分類號 | 446.8401 |
| 關鍵詞 | 重負荷疊積式平臺; 重負荷微動平臺; 奈米微動平臺; 五自由度雷射量測系統; Stack-type stage; Flexure hinge; Nanometer stage; Multi-degrees-of freedoms; Positioning control; Sliding mode control; |
| 語 文 | 英文(English) |