查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題 名 | Development of a Novel Heavy-Loading Flexure Hinge Based Stack-Type Five-Degree-of-Freedom Nanometer Positioning Stage=一種新型奈米級五自由度重負荷疊積式平臺之建構 |
---|---|
作 者 | 覺文郁; 沈金鐘; 劉建宏; 鄧雲峰; 簡裕特; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 25:6 民93.12 |
頁 次 | 頁465-474 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 重負荷疊積式平臺; 重負荷微動平臺; 奈米微動平臺; 五自由度雷射量測系統; Stack-type stage; Flexure hinge; Nanometer stage; Multi-degrees-of freedoms; Positioning control; Sliding mode control; |
語 文 | 英文(English) |