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題 名 | 阻抗式感測元件之多元微小化設計及製作=Design and Fabrication of Multi-fuction and Miniaturized Impendance-Type Sensitive Devices |
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作 者 | 陳克紹; 唐自標; 李明旭; 柯惟馨; | 書刊名 | 鑛冶 |
卷 期 | 49:4=192 民94.12 |
頁 次 | 頁128-136 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微電子感測元件; 電極圖形設計; 積體化; 濕度感測器; Microelectronic sensitive device; Electrode pattern design; Integration; Humidity sensor; |
語 文 | 中文(Chinese) |