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題 名 | 微型慣性感測組件製造技術=Fabrication Technology of Micro-Inertial Sensors |
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作 者 | 羅淵; 曾志偉; 簡學斌; | 書刊名 | 新新科技年刊 |
卷 期 | 2 民95.01 |
頁 次 | 頁37-46 |
分類號 | 446 |
關鍵詞 | 微型慣性感測系統; 微型加速儀; 微型陀螺儀; 微製造技術; Micro-inertial sensor; Micro-accelerometer; Micro-gyroscope; Micro-fabrication technology; |
語 文 | 中文(Chinese) |