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題 名 | Surface Profiler Design with Multi-Sensor Data Fusion Methods=多重資訊整合之接觸式掃描探針顯微系統研究 |
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作 者 | 林君明; 林俊杰; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 26:6 民94.12 |
頁 次 | 頁747-752 |
分類號 | 471.713 |
關鍵詞 | 接觸式掃描探針顯微系統; Stylus probe; LVDT; SPM; Kalman filtering technique; Multi-sensor data fusion; |
語 文 | 英文(English) |