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題 名 | 錫/銅雙層金屬薄膜之界面反應與反應生成動力學研究=A Kinetic Study of Su/Cu Bimetallic Thin Film Reaction |
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作 者 | 廖建能; 魏仲廷; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 37:2 民94.06 |
頁 次 | 頁82-86 |
分類號 | 440.39 |
關鍵詞 | 薄膜反應; 薄膜電阻; 介金屬相; 活化能; Interfacial reaction; Resistances; Intermetallic compounds; Reaction energy; |
語 文 | 中文(Chinese) |