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題 名 | Measurement Characterization of Fresnel Method in Dimensional Metrology=Fresnel法於尺寸計量時的量測特性 |
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作 者 | Chugui, Yuri V.; Yakovenko, Nikolai A.; Yaluplin, Michael D.; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 26:3 民94.06 |
頁 次 | 頁271-278 |
分類號 | 336.9 |
關鍵詞 | Fresnel法; 同調光尺寸量測; 光學; Optical measurements; Dimensional metrology; Fresnel diffraction; Accuracy; |
語 文 | 英文(English) |