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題名 | 電漿束液晶配向製程設備技術現況=Introduction Process and Equipment of Plasma Beam Alignment Technology |
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作者 | 李金揚; 劉品均; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 270 民94.09 |
頁次 | 頁40-46 |
專輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 非接觸式配向; 電漿束; 陽極層推進器; Non-contact alignment; Plasma beam; Anode layer thruster; ALT; |
語文 | 中文(Chinese) |