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題名 | 次世代TFT-LCD產業揮發性有機廢氣處理設備之最佳化設置研究 |
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作者 | 張豐堂; 林育旨; 白寶實; 白曛綾; 鄭石治; | 書刊名 | 工業污染防治 |
卷期 | 24:2=94 2005.04[民94.04] |
頁次 | 頁33-50 |
分類號 | 445.63 |
關鍵詞 | 沸石吸附濃縮轉輪; 活性碳流體化床; 蓄熱式焚化爐; 觸媒焚化; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 薄膜電晶體液晶顯示器是國家重點發展兩兆雙星計畫之一,由於製作590mm×670mm面板之三代廠與680mm×880mm之四代廠,其廢氣流量與所排放之VOCs濃度不亞於半導體晶圓製造業,而該產業所運轉製作1,100mm×1,250mm面板之五代廠,及興建中之1,500mm×1,850mm面板之六代廠等所謂次世代新廠,其揮發性有機物排放量污染量預估更會高過半導體產業。 因此,本文依據累積之研究及實廠經驗探討次世代TFT-LCD廠如何因應未來即將公告實施之「光電製造業空氣污染管制及排放標準」,有效處理VOCs污染排放量,並針對VOCs控制技術提出分析,協助次世代TFT-LCD業規劃揮發性有機廢氣處理設備及處理措施。 |
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