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題名 | 半導體工業的節能挑戰=Energy Challenges and Energy-Saving Opportunities for Semiconductor Manufacturing Industry |
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作者姓名(中文) | 曹志明; 胡石政; | 書刊名 | 潔淨科技 |
卷期 | 9 2005.03[民94.03] |
頁次 | 頁34-43 |
分類號 | 555.62 |
關鍵詞 | 半導體工業; 廠務設施; 製程設備; 節能; 耗能指標; Semiconductor manufacturing industry; Energy saving; Facility; Energy consumption index; |
語文 | 中文(Chinese) |