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題名 | 矽麥克風振膜之機械感度量測 |
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作者 | 李芳慶; 姜達銘; 鄭志強; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 212 2004.08[民93.08] |
頁次 | 頁114-116 |
專輯 | 高性能複合材料專題 |
分類號 | 471.9 |
關鍵詞 | 矽麥克風; 機械感度; 白光干涉儀; Silicon microphone; Mechanical sensitivity; White light interferometry; |
語文 | 中文(Chinese) |