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題 名 | MEMS/LIGA製程技術於微型噴孔片之應用=Application of Micronozzle Plate for Inject Printing with MEMS/LIGA Technology |
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作 者 | 沈聖智; 王郁仁; 李聰瑞; 潘正堂; 陳易呈; 蔡明杰; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 257 2004.08[民93.08] |
頁 次 | 頁175-184 |
專 輯 | 微機電技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微型噴孔片; 光深刻模造技術; 微電鑄技術; 精密微細射出成型技術; Nozzle plate; LIGA; Micro-electroforming; Micro-precision injection molding with micro structured region; |
語 文 | 中文(Chinese) |