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題名 | 奈米量測系統設計=Design of Nanometer Measurement System |
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作 者 | 余文俊; 簡明春; | 書刊名 | 中州學報 |
卷期 | 19 2004.06[民93.06] |
頁次 | 頁75-82 |
分類號 | 471.7 |
關鍵詞 | 奈米; 查表法; 內插法; Nanometer; Look-up table method; Interpolation method; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究以平行板之電容值與其距離成反比之關係式,及簡單、便宜之電子元件,設計完成精度為50nm之低成本之電容式奈米量測系統。電路之非線性現象由微處理器查表法及內插法校正之。 |
英文摘要 | In this approach, we propose a capacitive nanometer system conducting of simple and low-cost electronic components. The measure system precision is up to 50nm. The look-up table and interpolation methods overcome the drawback of electronic circuit nonlinearity. |
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