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來源資料
機械技術雜誌
229 2004.03[民93.03]
頁141-146
電機工程
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電燈廠
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題名
微元件製程失效模式之探討=
作者
鄭兆珉
;
期刊
機械技術雜誌
出版日期
20040300
卷期
229 2004.03[民93.03]
頁次
頁141-146
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
微元件製程
;
積體電路
;
微機電系統
;
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