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題 名 | 電化學法製備奈米壓印模具與光學應用=Preparation of Nanoimprint Mold by Electrochemical Method and Optical Applications |
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作 者 | 王正全; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 314 2013.02[民102.02] |
頁 次 | 頁112-117 |
專 輯 | 光電元件微奈米成型技術專題 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 奈米壓印模具; 陽極氧化鋁; 電化學法; 抗反射; Nanoprint mold; Anodic aluminum oxide; AAO; Electrochemical method; Anti-reflection; |
語 文 | 中文(Chinese) |