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題名 | 脈衝磁控濺射技術(PMS)於光學薄膜層之應用--電鍍防折射及防靜電薄膜層 |
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作者姓名(外文) | Winkler,Torsten; Egel,Manuela; Bluthner,Ralf; Nyderle,Roman; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 10:3=104 2004.03[民93.03] |
頁次 | 頁116-121 |
專輯 | 半導體製程設備專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 脈衝磁控濺射技術; 光學薄膜層; 顯示器; PMS; Pulse magnetron sputtering; |
語文 | 中文(Chinese) |