頁籤選單縮合
題 名 | 高導電率之透明氧化鋅薄膜的濺鍍製程參數最佳化=Optimization of Sputtering Parameters for High Conductive and Transparent Zinc Oxide Films |
---|---|
作 者 | 張振旻; 蔡淑儀; 衛祖賞; 盧陽明; 黃文星; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 36:1 2004.03[民93.03] |
頁 次 | 頁31-35 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 氧化鋅薄膜; 電阻率; 穿透率; 沉積速率; Zine oxide film; Resistivity; Transmittance; Deposition rate; |
語 文 | 中文(Chinese) |