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題 名 | 半導體廠營運中之固定空氣污染源排放以實驗室為例之研究探討 |
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作 者 | 林清文; 陳春盛; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷 期 | 11:1 2004.02[民93.02] |
頁 次 | 頁44-49 |
分類號 | 445.63 |
關鍵詞 | 固定污染物; 揮發性有機物; 無機酸; Fixed air pollution; Volatile prganic compounds; VOCs; Inorganic acid/Base gas; |
語 文 | 中文(Chinese) |