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題 名 | High Performance of Thin Nano-crystalline TiNx Diffusion Barriers between Cu and Si=Cu/Si系統間之高性能奈米結晶TiNx擴散阻障膜 |
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作 者 | 李文鴻; 邱金同; 高振育; | 書刊名 | 黎明學報 |
卷 期 | 16:1 2003.12[民92.12] |
頁 次 | 頁141-150 |
分類號 | 440.2 |
關鍵詞 | Cu/Si系統; 高性能奈米結晶TiNx; 擴散阻障膜; Diffusion barrier; Bias voltage; Titanium nitride; |
語 文 | 英文(English) |