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題名 | 半導體薄膜材料有機金屬化學氣相沉積反應器之氣體動力特性與熱流設計=Gasdynamic Characteristics and Thermal-flow Design of Metal Organic Chemical Vapor Deposition Reactors for Semiconductor Thin-films |
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作者姓名(中文) | 宋齊有; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷期 | 25:3=137 2003.12[民92.12] |
頁次 | 頁71-82 |
分類號 | 440.138 |
關鍵詞 | 半導體; 薄膜材料; 有機金屬化學氣相沉積反應器; 氣體動力; 熱流設計; 氣相磊晶; Mocvd; Movpe; |
語文 | 中文(Chinese) |