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題名 | 淺談電漿蝕刻對低溫複晶矽薄膜電晶體之損傷效應= |
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作者 | 張鈞傑; 陳志強; 莊景桑; 葉永輝; |
期刊 | 工業材料 |
出版日期 | 200310 |
卷期 | 202 2003.10[民92.10] |
頁次 | 頁162-173 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 低溫複晶矽薄膜電晶體; 乾式蝕刻; 電漿製程傷害; 可靠度; Low temperature poly-silicon TFT; LTPS TFT; Dry etch; Plasma process induced damage; PPID; Reliability; |