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題 名 | 射頻微機電元件可靠度和氣密構裝解析 |
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作 者 | 刑泰剛; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 202 2003.10[民92.10] |
頁 次 | 頁79-84 |
專 輯 | 微機電子系統--RF MEMS元件應用專題 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微機電系統; 射頻; 無線通訊; 可靠度; 氣密; MEMS; Radio frequency; Wireless communication; Reliability; Hermetical sealing; |
語 文 | 中文(Chinese) |