您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
奈米通訊
10:3 2003.08[民92.08]
頁45-53
相關文獻
半導體廠氣體供應系統之規劃與設計
彩色濾光片廠氣體供應系統設計及操作
半導體用特殊氣體的除害處理對策
一般氣體及特殊氣體的供應及監控
深次微米半導體製程用特殊氣體簡介
積體電路工廠化學液及特殊氣體微量不純物之量測
TFT-LCD光電廠化學品儲運安全實務
超高潔淨氣體供應系統材料選用趨勢
氣體純度鑑定技術對於臺灣半導體業發展之影響
大宗或特殊氣體內微量水氣之分析技術及量測追溯概述
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題 名
半導體廠氣體供應系統之規劃與設計
作 者
張昌洲
;
鄭淵源
;
吳世全
;
書刊名
奈米通訊
卷 期
10:3 2003.08[民92.08]
頁 次
頁45-53
分類號
448.552
關鍵詞
氣體供應
;
大宗氣體
;
特殊氣體
;
氣體監控
;
Bulk gas
;
Special gas
;
語 文
中文(Chinese)
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址