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來源資料
機械工業
245 民92.08
頁138-147
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題名
晶圓異質接合技術介紹
作者
丁嘉仁
;
賴欣怡
;
書刊名
機械工業
卷期
245 民92.08
頁次
頁138-147
專輯
微機電技術專輯
分類號
448.552
關鍵詞
異質接合
;
直接接合
;
非矽材料
;
應用
;
Hetero-material
;
Direct-bonding
;
Non-silicon
;
Application
;
語文
中文(Chinese)
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