查詢結果分析
相關文獻
頁籤選單縮合
題名 | 電解拋光技術於半導體製程上的應用= |
---|---|
作者 | 林春宏; 吳清吉; 李金揚; 張加強; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200309 |
卷期 | 246 2003.09[民92.09] |
頁次 | 頁223-232 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 電解拋光技術; 半導體製程; 無應力拋光; 生醫材料; Electropolishing; Semiconductor process; Stress free polishing; Bio-material; |