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題 名 | 電解拋光技術於半導體製程上的應用 |
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作 者 | 林春宏; 吳清吉; 李金揚; 張加強; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 246 2003.09[民92.09] |
頁 次 | 頁223-232 |
專 輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 電解拋光技術; 半導體製程; 無應力拋光; 生醫材料; Electropolishing; Semiconductor process; Stress free polishing; Bio-material; |
語 文 | 中文(Chinese) |