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題名 | III-V半導體切割技術探討 |
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作者 | 陳孟群; 陳貴榮; 趙崇禮; 賴志一; 陳志明; 譚子陵; 江銘通; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 246 2003.09[民92.09] |
頁次 | 頁205-222 |
專輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 劃線裂片; 尖點劃線; 砷化鎵; 精密定位; Scribe/Break; Sharp pointed scribe; GaAs; Gallium arsenide; Precision positioning; |
語文 | 中文(Chinese) |