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題名 | 場發射式歐傑電子顯微鏡(AES)/微區表面化學電子能譜儀(ESCA)之簡介 |
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作者 | 田大昌; 黃啟貞; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 201 2003.09[民92.09] |
頁次 | 頁81-89 |
專輯 | 檢測技術在奈米科技之應用專題 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 薄膜分析; 表面分析; 場效發射式歐傑電子顯微鏡; 微區表面化學電子能譜儀; 反射式電子能量損失能譜; 縱深分析; 影像解析度; 化態分析; Thin film analysis; Surface analysis; FE-AES; μ-ESCA; XPS; REELS; Depth profile; Image resolution; Chemical analysis; |
語文 | 中文(Chinese) |