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題 名 | 氫氣與氮氣熱處理對ITO及ITO/Cu透明導電膜之特性影響 |
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作 者 | 林天財; 張慎周; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 11:7=120 民94.07 |
頁 次 | 頁181-185 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 透明導電膜; ITO; Annealing; Sputtening; Resistirity; Transmittance; |
語 文 | 中文(Chinese) |