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題名 | 次微米級精密取放設備探討 |
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作者姓名(中文) | 李思慧; | 書刊名 | 機械工程 |
卷期 | 246 2003.06[民92.06] |
頁次 | 頁55-65 |
專輯 | 半導體設備技術 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 次微米; 精密定位; 取放設備; Sub-micron; Precision positioning; Pick and place equipment; |
語文 | 中文(Chinese) |