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來源資料
機械工程
246 2003.06[民92.06]
頁55-65
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題名
次微米級精密取放設備探討=
作者
李思慧
;
期刊
機械工程
出版日期
200306
卷期
246 2003.06[民92.06]
頁次
頁55-65
分類號
448.552
語文
chi
關鍵詞
次微米
;
精密定位
;
取放設備
;
Sub-micron
;
Precision positioning
;
Pick and place equipment
;
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