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來源資料
機械工業
238 2003.01[民92.01]
頁175-181
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題名
晶圓製造廠房建築之研究=
作者
劉弼民
;
期刊
機械工業
出版日期
200301
卷期
238 2003.01[民92.01]
頁次
頁175-181
分類號
448.552
語文
chi
關鍵詞
晶圓廠
;
建築計畫
;
廠房
;
IC fabrication building
;
Architectural planning
;
Factory
;
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