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來源資料
真空科技
15:3 2002.09[民91.09]
頁37-43
精密機械工藝
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測定儀器
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題名
微型真空計發展趨勢與校正
作者
戴昌琨
;
書刊名
真空科技
卷期
15:3 2002.09[民91.09]
頁次
頁37-43
分類號
471.3
關鍵詞
真空計
;
真空量測
;
語文
中文(Chinese)
中文摘要
真空量測技術是整個真空技術中重要的一環,真空量測儀器是真空系統的靈魂之窗,配合高科技的研發需求與新興微機電系統技術的發展,傳統式真空計也因而蛻變為微型真空計,以因應在工業製程中愈來愈嚴苛的量測需求。傳統設計方式要提昇真空量測儀器的性能相當有限,微機電系統技術的應用,大幅改進了真空量測儀器的功能,也突破了以往難以克服的技術瓶頸。
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。
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