您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
指令檢索
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
真空科技
15:3 2002.09[民91.09]
頁37-43
精密機械工藝
>
測定儀器
相關文獻
真空壓力量測--真空計量測原理及其選用簡介
真空量測實務
微型真空計發展趨勢與校正
微熱離子真空計發展現況
真空量測基本原理與元件微小化
IC FAB電容真空計管理系統之建立
真空量原級標準簡介
真空量測及查漏技術
真空計校正技術
熱陰極離子真空計的感測原理與校正
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題 名
微型真空計發展趨勢與校正
作 者
戴昌琨
;
書刊名
真空科技
卷 期
15:3 2002.09[民91.09]
頁 次
頁37-43
分類號
471.3
關鍵詞
真空計
;
真空量測
;
語 文
中文(Chinese)
中文摘要
真空量測技術是整個真空技術中重要的一環,真空量測儀器是真空系統的靈魂之窗,配合高科技的研發需求與新興微機電系統技術的發展,傳統式真空計也因而蛻變為微型真空計,以因應在工業製程中愈來愈嚴苛的量測需求。傳統設計方式要提昇真空量測儀器的性能相當有限,微機電系統技術的應用,大幅改進了真空量測儀器的功能,也突破了以往難以克服的技術瓶頸。
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址