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題名 | 於SiO[feaf]/Si基材上鉭-矽-氮薄膜之濺鍍沈積及其高溫阻銅擴散性質=Sputter Deposition and High-temperature Barrier Properties Against Cu-diffusion of Tantalum-silicon-nitrogen Thin Films on SiO[feaf]/Si Substrates |
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作者 | 陳慶洪; 陳柏佑; 蔡秉昇; 張勁燕; Chen, E. C.; Chen, B. Y.; Chai, B. S.; Chang, G. Y.; |
期刊 | 真空科技 |
出版日期 | 200209 |
卷期 | 15:3 2002.09[民91.09] |
頁次 | 頁20-29 |
分類號 | 440.34 |
語文 | chi |
關鍵詞 | SiO[feaf]/Si基材; 鉭-矽-氮薄膜; 濺鍍沈積; 高溫阻銅擴散; |