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來源資料
電子月刊
8:9=86 2002.09[民91.09]
頁142-154
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題名
閘極氧化層製程發展新趨勢
作者
姚俊敏
;
書刊名
電子月刊
卷期
8:9=86 2002.09[民91.09]
頁次
頁142-154
專輯
積體電路技術專輯
分類號
448.552
關鍵詞
閘極氧化層製程
;
半導體製程
;
語文
中文(Chinese)
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